25231: تئوری ‌و تکنولوژی‌ ساخت قطعات ‌الکترونیکی
نام درس: تئوری ‌و تکنولوژی‌ ساخت قطعات ‌الکترونیکی (Semiconductor Technology)
شماره درس: 25231
پیش‌نیاز(ها): -
هم‌نیاز(ها): -
تعداد واحد: 3
مقطع: کارشناسی ارشد
آخرین ویرایش: آذر 1397

توضیحات:
هدف این درس آشنایی با مواد و فرایندهای ساخت نوین ادوات میکرو و نانوالکترونیک است.
 
سرفصل‌ها:
  • مواد نو: GaN, SiGe, AlN, Graphene, CNT, SiC, ...
  • روش‌های نوین لیتوگرافی: EUV, Diff compensation, Multiple Exposure,  Nano sphere Lith (NSL), Nano scratching,  SNOL, Modern Ebeam Lithography
  • روش‌های نوین آلایش:     Advanced Ion Implantation methods, Plasma Immersion Doping
  • روش‌های نوین نشاندن: ALD, NFCVD, Atomic Manipulation
  • روش‌های نوین زدایش: Novel Plasma processing, Near field Etching
  • ابزارها و روش‌های شبیه‌سازی
  • روش‌های خاص مشخصه‌یابی: SPM Based characterization, Advanced CV, Novel Ebeam methods

مراجع:
  • Class Notes & Selected Papers


 
آخرین به‌روزرسانی: 5 / 3 / 1403