![](/documents/1230688/0/1200px-Sharifee1.jpg/8c58b63b-753a-7245-0424-0999b3927f66?t=1629537943623&download=true)
25231: تئوری و تکنولوژی ساخت قطعات الکترونیکی
نام درس: تئوری و تکنولوژی ساخت قطعات الکترونیکی (Semiconductor Technology)
شماره درس: 25231
پیشنیاز(ها): -
همنیاز(ها): -
تعداد واحد: 3
مقطع: کارشناسی ارشد
آخرین ویرایش: آذر 1397
توضیحات:
سرفصلها:
مراجع:
شماره درس: 25231
پیشنیاز(ها): -
همنیاز(ها): -
تعداد واحد: 3
مقطع: کارشناسی ارشد
آخرین ویرایش: آذر 1397
توضیحات:
هدف این درس آشنایی با مواد و فرایندهای ساخت نوین ادوات میکرو و نانوالکترونیک است.
سرفصلها:
- مواد نو: GaN, SiGe, AlN, Graphene, CNT, SiC, ...
- روشهای نوین لیتوگرافی: EUV, Diff compensation, Multiple Exposure, Nano sphere Lith (NSL), Nano scratching, SNOL, Modern Ebeam Lithography
- روشهای نوین آلایش: Advanced Ion Implantation methods, Plasma Immersion Doping
- روشهای نوین نشاندن: ALD, NFCVD, Atomic Manipulation
- روشهای نوین زدایش: Novel Plasma processing, Near field Etching
- ابزارها و روشهای شبیهسازی
- روشهای خاص مشخصهیابی: SPM Based characterization, Advanced CV, Novel Ebeam methods
مراجع:
- Class Notes & Selected Papers
آخرین بهروزرسانی: 5 / 3 / 1403